编者按

辽东湾畔，铁锤铿锵。营口，这座镌刻着工业基因的城市，正以“硬核制造”托举大国脊梁。从新一代超大型空分压缩机，到硼镁肥料国家标准起草；从为核电加热元件国产化替代，到国产光刻机核心部件自主化——营口装备制造企业以“纳米级”精度，在国之重器的宏伟蓝图中刻下鲜明印记。这里集聚着13家国家级专精特新“小巨人”，137户省级“专精特新”中小企业、13户制造业单项冠军企业，70%的规上企业参与国家重大工程配套，一条条智能产线输送的不仅是零件，更是中国智造的底气。

从今天开始《大国重器上的营口制造》栏目将深入这些企业生产车间一线，探访那些“隐形冠军”如何以技术创新破局“卡脖子”难题，见证传统老工业基地如何借力数字化转型焕新突围。在这里，每一颗螺丝都在讲述“大国制造”的匠心故事，每一次技术突破都在标注东北全面振兴新突破的新坐标。看营口装备，如何以钢铁之躯，铸就强国之魂！

在全球半导体产业竞争日益激烈的背景下，加速突破“卡脖子”技术瓶颈，是科技企业的责任担当。作为高端装备制造领域的“隐形冠军”，辽宁希泰科技有限公司凭借在等离子体刻蚀设备领域的持续深耕，成功打破国外垄断，成为支撑我国半导体产业链自主可控“大国重器”的“配套脊梁”。

在光刻机的真空腔体内，在核聚变装置的超导磁体内，甚至在中国空间站的精密仪器上，有一根看似普通的金属管件——‌焊接波纹管‌，以“至柔至刚”的性能成为大国重器的“硬核担当”。走进希泰的加工车间，工人们身着防护服，在显微镜下操作微束等离子焊接机，将厚度仅为0.05毫米的金属片层层焊接。这项看似“绣花”的工艺，却打破了国外对‌半导体设备关键零部件‌的垄断。

辽宁希泰科技有限公司总经理孙艳朝介绍说，焊接波纹管的变形量需精确到微米级，疲劳寿命超过1000万次，任何细微误差都会导致设备失效。 通过自主研发的‌双层高精密焊接技术‌，企业不仅攻克了材料变形控制难题，还将产品寿命提高至国际标准的1.5倍，成为中微半导体、北方华创等头部企业的核心供应商。

辽宁希泰科技有限公司是一家专业生产集成电路设备关键零部件的高新技术企业，是国家集成电路零部件技术创新联盟成员单位，始终致力于为半导体芯片处理设备、离子注入设备、高端晶圆设备、光刻机设备、硅刻蚀设备等提供高精密零部件及一体化解决方案。实现了诸多集成电路设备关键零部件国产化，产品技术水平为国内领先。公司已成为国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造商，尤其在刻蚀设备领域，公司是国内少数已量产供应7纳米及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商，直接与国际厂商竞争。

特别是最近这几年的发展，企业一边生产一边研发一边搞建设，企业的规模呈几何式增长，员工由过去的近百名发展到近千人，员工的技术实力由原来的普通技能发展到现在既会编程又会设计，还能同时搞研发生产，使企业快速发展，迭代了核心技术。

从2010年成立时的单一普通波纹管生产，到如今覆盖半导体产业领域的高精密产品、‌真空腔体、精密机加件、半导体分立器件‌的全产业链布局，辽宁希泰的产值15年间增长超40多倍。这一飞跃源于企业对技术研发的持续投入：累计申请30余项专利，其中‌微束等离子焊接工艺‌和‌真空密封技术‌填补国内空白，参与国家“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”专项，助力国产光刻机核心部件自主化。在聚焦半导体领域同时，企业充分发挥精密零部件研发的扎实基础及创新能力优势，积极在半导体、航空航天等产业开发新产品。

早在2020年，公司成功研发了CEPC粒子加速器屏蔽式焊接波纹管，解决了我国粒子加速器大科学工程中的技术难题，实现了产品国产化，受到了国内外专家的一致好评。同年，获得“辽宁省瞪羚企业”荣誉称号。

“核心技术没有捷径！我们曾经研发粒子加速器专用波纹管，连续6个月推翻上百种设计方案。现在，无尘车间洁净度超过手术室，检测设备精度达到纳米级。未来三年，将投入2亿元扩建沈阳研发中心，重点攻关‌光刻机用的超高真空组件‌，目标是实现半导体设备零部件国产化率超过90%。”孙艳朝说。

记者手记

从实验室里的“一根管”到大国重器的“顶梁柱”，辽宁希泰用15年时间诠释了“中国智造”的韧性。在半导体产业自主化的浪潮中，我市这家企业正以“隐形冠军”的姿态，为全球高端装备注入更多“中国芯”力量。